Le blianta beaga anuas, tá teicneolaíocht braiteora mo thíre ag forbairt go gasta, agus tá a réimsí feidhmithe ag leathnú freisin. Mar an cineál teicneolaíochta tomhais nua -aimseartha is aibí, tá teicneolaíochtaí nua, ábhair nua agus próisis nua ag teacht chun cinn i gcónaí i réimse na mbraiteoirí brú.
Is éard is braiteoir brú ann ná gléas a úsáidtear chun comharthaí brú a bhrath agus iad a thiontú ina gcomharthaí leictreacha de réir rialacha áirithe. Úsáidtear é go forleathan i réimsí éagsúla táirgthe, tionsclaíocha agus aeraspáis. Le linn réimsí iarratais a fhoroinnt, tá tomhas brú i dtimpeallachtaí ardteochta agus géara amhail toibreacha ola ardteochta agus cuasa éagsúla ag éirí níos tábhachtaí, cé go bhfuil na hábhair a úsáidtear i ngnáth-bhraiteoirí brú níos mó ná 120 ° C (mar shampla, tá teocht na mbrúnna silicon dif chun braiteoirí níos ísle ná 120 ° C). ° C) a theipeann air, agus mar thoradh air sin teiptear ar thomhas brú. Dá bhrí sin, is treo taighde an -tábhachtach é an braiteoir brú ardteochta.
Aicmiú braiteoirí brú ardteochta
De réir na n-ábhar éagsúil a úsáidtear, is féidir braiteoirí brú ardteochta a roinnt ina mbraiteoirí brú ardteochta polysilicon (polai-Si), braiteoirí brú ardteochta SIC, SOI (sileacain ar inslitheoir) braiteoirí brú ardteochta ardteochta, braiteoirí silicon-sapphire, braiteoirí silicon-saphire, braiteoirí silicon-saphire, braiteoirí optúla a bhraitear ó thaobh na silicon, ó bhrú optúil ó bhrú sil-saphire ó bhrú na sil-saphire ó thaobh na sil-bhrú ó thaobh na sil-saphire de, an t-ábhar atá ag brú ar an mbraitear ó thaobh na sil-saphire ó thaobh na sil-saphire de, ar an mbraitear silicon-saphire ó thaobh na sil-saphire) as an gcraoladh atá ag an silicon sapphire), Tá stádas agus ionchais braiteoirí brú ardteochta SOI an-oiriúnach. Tugann an méid seo a leanas an braiteoir brú ardteochta SOI isteach den chuid is mó.
Braiteoir brú ardteochta ard SOI
Braitheann forbairt braiteoirí brú ardteochta SOI den chuid is mó ar ardú ábhair SOI. Bulc sileacain, agus feabhsaíonn sé iontaofacht na feiste. Ina theannta sin, mar gheall ar thréithe ardteochta an chiseal feiste SOI, éiríonn sé ina ábhar idéalach chun braiteoirí brú ardteochta a ullmhú.
Faoi láthair, forbraíodh braiteoirí brú ardteochta SOI go rathúil thar lear, agus is é an teocht oibre -55 ~ 480 ° C; an braiteoir brú ardteochta ard -teochta SOI a d'fhorbair Ionad Teicneolaíochta Ard -Braiteora Goodrich sna Stáit Aontaithe; Tá teocht oibre de níos mó ná 400 ° C. Tá institiúidí taighde níos mó ag Institiúid Leti na Fraince ag déanamh taighde go gníomhach ar bhraiteoirí brú ardteochta SOI, mar Ollscoil Xi'an Jiaotong, Ollscoil Tianjin, agus Ollscoil Peking. Ina theannta sin, tá obair thaighde gaolmhar á dhéanamh ag Institiúid Taighde Ard -Teicneolaíochta na Teicneolaíochta Advanced Future, agus tá an tionscadal reatha tar éis dul isteach sa chéim taispeántais.
Prionsabal Oibre Braiteoir Brú Ard -Teochta SOI
I bprionsabal, úsáideann an braiteoir brú ardteochta SOI an éifeacht piezoresistive den chuid is mó de sileacain criostail aonair. Nuair a fheidhmíonn fórsa ar an gcriostal sileacain, déantar laitíse an chriostal a dhífhoirmiú, rud a fhágann go n -athraíonn an t -athrú ar an gcriosraitheoirí siorrach. Ciseal feiste chun droichead cruithneachta a dhéanamh mar a thaispeántar i bhFíor 2 (a); Tá cuas brú ar ais eitseáilte ar chiseal an tsubstráit SOI chun struchtúr brú -íogair a chruthú.
Figiúr 2 (a) Droichead na gcloch cruithneachta
Nuair a chuirtear brú aeir ar an struchtúr brú-íogair, athraíonn friotaíocht na n-athruithe piezoresistor, rud a fhágann go n-athraíonn an voltas aschuir, agus déantar an luach brú a thomhas tríd an ngaol idir luach an voltais aschuir agus luach friotaíochta an piezoresistor.
Próiseas monaraithe braiteoir brú ardteochta SOI
Is éard atá i gceist le próiseas ullmhúcháin an bhraiteora brú ardteochta SOI ná próisis iomadúla MEMS. Tugtar isteach roinnt príomhchéimeanna anseo go hachomair chun próiseas an bhraiteora a thuiscint, lena n-áirítear ullmhú piezoresistor, ullmhú luaidhe miotail, ullmhú scannán brú-íogair, agus pacáistiú seomra brú.
Is é an rud is tábhachtaí maidir le hullmhú na n -athbheochan ná an tiúchan dópála a rialú agus an leas iomlán a bhaint as an bpróiseas múnlaithe eitseáil ina dhiaidh sin; Feidhmíonn an ciseal luaidhe miotail go príomha mar nasc an droichid chruithneachta; Braitheann ullmhú an scannáin bhrú íogair go príomha ar an bpróiseas eitseáil sileacain domhain; De ghnáth bíonn pacáistiú an chuas ag brath ar chur i bhfeidhm an bhraiteora brú,
Ós rud é nach féidir leis na braiteoirí brú ardteochta atá tráchtálaithe reatha na riachtanais tomhais brú a chomhlíonadh go maith i dtimpeallachtaí géara speisialta amhail toibreacha ola ardteochta agus aeró-inneall, tá taighde dosheachanta ar bhraiteoirí brú ardteochta. Ba cheart go ndíreodh taighde sa todhchaí ar bhraiteoirí brú ardteochta SOI ar réiteach fadtéarmach cobhsaíochta agus féin-théamh braiteoirí i dtimpeallachtaí géara ardteochta a réiteach agus cruinneas na mbraiteoirí brú a fheabhsú. gné.
Ar ndóigh, éilíonn teacht na ré Chliste freisin braiteoirí brú ardteochta SOI in éineacht le teicneolaíochtaí ildisciplíneacha eile chun feidhmeanna níos cliste a thabhairt ar nós féin-chomhchoimisiúnú, féin-chalabrú, agus stóráil faisnéise don bhraiteoir, ionas go gcríochnófar an misean casta comhshaoil ardteochta casta a chomhlánú. .
Am Post: Feabhra-13-2023